產品描述
因產品配置不同，價格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實際成交合同為準。
KRi 射頻離子源 RFICP 220
上海伯東代理國外進口進口 KRI 射頻離子源 RFICP 220 高能量柵極離子源, 適用于離子濺鍍, 離子沉積和離子蝕刻. 在離子束濺射工藝中, 射頻離子源 RFICP 220 配有離子光學元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材, 實現(xiàn)無缺的薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中, 較佳的離子光學元件能夠完成發(fā)散和聚集離子束的任務. 標準配置下射頻離子源 RFICP 220 離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 800 mA.
KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數(shù):
|
型號 |
RFICP 220 |
|
Discharge 陽極 |
RF 射頻 |
|
離子束流 |
>800 mA |
|
離子動能 |
100-1200 V |
|
柵極直徑 |
20 cm Φ |
|
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
|
流量 |
10-40 sccm |
|
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
|
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
|
長度 |
30 cm |
|
直徑 |
41 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
KRI 射頻離子源 RFICP 220 應用領域：
預清洗
表面改性
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD,
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:
上海伯東: 羅小姐 寶島伯東: 王小姐
T: 86-21-5046-3511 ext 108 T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1322 F: 886-3-567-0049
M: 86 ***請點擊商鋪導航 聯(lián)系我們*** ( 微信同號 ) M: 886-939-653-958
qq: 2821409400
現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡上海伯東 葉小姐 1***請點擊商鋪導航 聯(lián)系我們***
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
相關推薦
其他供應
-
單價： 元
-
單價： 元
-
單價： 元
-
單價： 元
-
單價： 元
-
單價： 元
-
單價： 元
-
單價： 元
相關推薦
免責申明：以上所展示的信息由企業(yè)自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負責，鋁道網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。為保障您的利益，我們建議您選擇鋁道網(wǎng)的 鋁業(yè)通會員。友情提醒：請新老用戶加強對信息真實性及其發(fā)布者身份與資質的甄別，避免引起不必要
風險提示：創(chuàng)業(yè)有風險，投資需謹慎。打擊招商詐騙，創(chuàng)建誠信平臺。維權舉報：0571-89937588。
