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HVA 真空閥門用在氣體管路系統(tǒng)

發(fā)布日期：2023-05-12 來源：網(wǎng)絡(luò) 作者：匿名

某半導(dǎo)體工廠在生產(chǎn)線上氣體輸送環(huán)節(jié)的氣體管路系統(tǒng)采用伯東 HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 ，作為真空隔離密封.

美國HVA真空閘閥 

 

HVA 不銹鋼真空閘閥 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格: 

 閥門材質(zhì):

 - 閥門主體

 304 不銹鋼

 - 焊接波紋管軸封

 AM - 350

 閥門密封方式

 - 高真空

 氟橡膠

 - 非常高真空

 銅墊圈 / 氟橡膠

 真空:

 - 壓力范圍

 高真空 1x10-9 mbar, 非常高真空 1x10-10 mbar

 - 漏率

 < 2x10-9  mbar l/S

 - 差壓關(guān)閉

 1 bar ( 任意位置 )

 - 開啟前較大壓力

 ≤ 30 mbar

 烘烤溫度（不含電磁閥）:

 - 彈性體密封閥蓋

 150°C

 - 金屬密封閥蓋

-開啟溫度：200°C

-關(guān)閉值：150°C

 - 驅(qū)動方式

 手動 60 °c, 氣動 60 °c

機(jī)制

手動：

手搖曲柄

電磁閥供電電壓

 120 VAC 50 /60 Hz

電磁閥可選電壓

 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz
 或 12, 24 VDC

 電磁閥位置指示器,較大

 115 VAC
 或 28 VDC, 20 mA

氣動送風(fēng)：

80 psig

 使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定)

 公稱通徑: DN 16 - 800 mm

  

HVA 是真空技術(shù)創(chuàng)新者的真空閥門(插板閥), 是高真空閥門的主要制造商和供應(yīng)商.

 

在設(shè)計真空系統(tǒng)時, 可以輕松集成 HVA 閥門. HVA 閘閥從5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狹縫閥的較大距離為80英寸（2m）, 可以滿足您的真空閥門(插板閥)要求. 無論您是升級現(xiàn)有的真空系統(tǒng)還是 OEM 設(shè)計新的系統(tǒng), HVA 都可以提供經(jīng)濟(jì)****的替代閥門解決方案.

 

HVA 真空閥門(插板閥)的閥體和所有主要內(nèi)部組件都是內(nèi)部釬焊的真空爐, 消除了虛擬泄漏的可能性, 閥體變形較小化.

 

40多年來, HVA 一直在建造業(yè)內(nèi)質(zhì)量較高, 設(shè)計較好的真空閥門(插板閥). HVA 代表著質(zhì)量, 工程, 定制和服務(wù).

 

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