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作為半導體製造設(shè)備內(nèi)部的保護性塗層，半導體乾蝕設(shè)備內(nèi)部暴於高反應性鹵素或氧系電漿。若非耐電漿材料元件(如，石英玻璃、氧化鋁和陽極化的鋁)以
氟化釔 無機化工產(chǎn)品氟化釔 氟化釔(III) 分子式：YF3 分子量：145.901109 CAS NO.:13709-49-4
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