產品描述
管式電阻爐 20000
應用領域
RGDL系列真空氣氛管式爐廣泛用于高、中、低溫CVD工藝，例如：碳納米管的研制，試驗用碳纖維碳化、晶體硅板鍍膜、納米氧化鋅結構可控生長等等，也可用于金屬材料的擴散焊接及真空或氣氛保護下的熱處理。
主要特點
采用精煉石英管或高純高于管作為爐膛，可拆卸的密封方式，具有良好的潔凈度和真空度，耐火保溫材料全部采用先進的輕質纖維制品，整機質量輕、低能耗。加熱元件采用優(yōu)質硅鉬棒、硅碳棒或進口電阻絲；溫度控制系統(tǒng)采用原裝進口智能多段程序溫度控制儀控制，具有良好的穩(wěn)定性、均勻性。
技術指標
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設備型號 |
RGDL(D) 2/80/44 |
RGDL(Z) 1/60/30 |
RGDL(G) 3/60/60 |
RGDL(D) 1/50/70 |
RGDL(Z) 2/30/60 |
RGDL(G) 1/50/80 |
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溫區(qū)個數(shù) |
2 |
1 |
3 |
1 |
2 |
1 |
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溫度 |
1100℃ |
1400℃ |
1650℃ |
1200℃ |
1400℃ |
1650℃ |
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加熱區(qū)長度 |
440mm |
300 mm |
600 mm |
500 mm |
600 mm |
500 mm |
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爐管尺寸及材料 |
Φ80石英管 |
Φ60剛玉管 |
Φ60剛玉管 |
Φ70石英管 |
Φ60高純剛玉管 |
Φ80高純剛玉管 |
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裝機功率 |
5kw |
8kw |
18kw |
8kw |
10kw |
12kw |
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備注：RGDL系列管式爐全部可以按照客戶要求通入各種惰性、還原性、反應性氣體，通過浮子流量計或質量流量計控制氣體通入量。同時還可以通過單機機械泵或真空機組預抽真空，系統(tǒng)具備冷態(tài)極限真空6.67×10﹣² Pa 。 |
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