產(chǎn)品描述
程控擴散爐主要滿足半導體電力電子器件、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工的硅 片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、
控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。 程控擴散爐技術(shù)指標： u可處理硅片尺寸：2—12英寸 u外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu) u工作溫度：200℃—1300℃ u恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃ u單點溫度穩(wěn)定性、重復性：≤±1℃／24h u溫度斜變：可控升溫速率15℃／min u可控降溫速率：5℃／min u送片裝置：手動推拉 u氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管 u氣體控制：手動浮子流量計 u控制方式：程控
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其他供應
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單價：50000 元
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- 青島福潤德微電子設備有限公司
- 經(jīng)營模式：制造商
- 主營：擴散爐,氧化擴散爐,鏈式燒結(jié)爐,管式真空爐,真空燒結(jié)爐,氫氣還原爐,led合金爐,soft
- 地區(qū)：山東 青島
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