藍寶石襯底拋光劑

藍寶石襯底拋光劑適用于襯底材料如藍寶石，碳化硅等超硬晶體的表面拋光，使用本拋光劑可以達到良好的拋光效果。本拋光劑采用國際先進技術，從而實現(xiàn)了快速的拋光速率。而且可以保證拋光片的表面粗糙度達到較高的水平。
1、特點
①去除速率高：針對超硬材料而采用cmp前沿技術，提高拋光的效率，節(jié)省工藝時間。
②使用方便：本拋光液適用于通用的拋光工藝。
③拋光效果好：拋光表面粗糙度好，無劃傷。
2、使用范圍及參數(shù)
型號    sio2含量ph    平均粒徑/nm    主要用途    
p600a    25%    11.0-12.0    50-70    藍寶石、碳化硅粗拋    
p600b    30%    11.0-12.0    30-50    藍寶石、碳化硅精拋    
3、使用工藝
拋光劑加入5倍的去離子水，混合均勻，根據(jù)實際條件及要求結果調(diào)整拋光時間即可。