供應FD-36A型四吸盤圓柱形硅片平面拋光機 研磨拋光機品牌及行情
圓柱形硅片平面拋光機,主要用于各種大尺寸硅片及晶體材料的平面拋光,其獨特之處在于有四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉來達到拋光的目的。
FD-36A型硅片平面拋光機特點:
1.本系列平面拋光機的吸附盤由四臺單獨的電機驅動、速度與壓力可調。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等先進技術,系統(tǒng)的響應速度更快、更,并具有遠程監(jiān)控,遠程維護的功能;
3.本系列拋光機運行平穩(wěn),拋光后的產品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內,粗糙度可達到0.4nm。
FD-36A型硅片平面拋光機技術參數
型號:FD-36A
拋光盤規(guī)格:φ910*φ300
拋光尺寸:φ300mm
拋光后平面度:±1u以內
工件平行度(25mm):±2u以內
工件粗糙度:0.4nm以內
拋光盤電機功率: 7.7kw 3相380V
拋光盤轉速:0~80rpm
外形尺寸:1200*1400*2300mm
重量:2600kg
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