產(chǎn)品描述
供應FD-36A型四吸盤圓柱形硅片平面拋光機 研磨拋光機品牌及行情
圓柱形硅片平面拋光機，主要用于各種大尺寸硅片及晶體材料的平面拋光，其獨特之處在于有四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉(zhuǎn)來達到拋光的目的。
FD-36A型硅片平面拋光機特點：
1.本系列平面拋光機的吸附盤由四臺單獨的電機驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等先進技術(shù)，系統(tǒng)的響應速度更快、更，并具有遠程監(jiān)控，遠程維護的功能；
3.本系列拋光機運行平穩(wěn)，拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負0.002mm范圍內(nèi)，粗糙度可達到0.4nm。
FD-36A型硅片平面拋光機技術(shù)參數(shù)
型號:FD-36A
拋光盤規(guī)格:φ910*φ300
拋光尺寸:φ300mm
拋光后平面度:±1u以內(nèi)
工件平行度（25mm）:±2u以內(nèi)
工件粗糙度:0.4nm以內(nèi)
拋光盤電機功率: 7.7kw 3相380V
拋光盤轉(zhuǎn)速:0~80rpm
外形尺寸:1200*1400*2300mm
重量:2600kg
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單價：1 元
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