石墨制品-石墨零件

石墨具有適宜的熱膨脹系數(shù)、良好的導(dǎo)熱性能、優(yōu)良的抗折抗壓強度，為真空爐提供專屬的VC散熱石墨，還具特殊的隔熱性，使預(yù)設(shè)溫度更平穩(wěn)好，優(yōu)良的耐腐蝕、抗輻射性，可以阻礙化學(xué)反應(yīng)的生產(chǎn)。其主要產(chǎn)品有：VC散熱石墨、熱管石墨治具、擴散焊接夾具、石墨載具等石墨零件。

在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng)、保溫罩、電較等存在，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點。高純石墨的耐腐蝕、舒緩反應(yīng)、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中，使工件使用壽命更長、更加減磨省電。我司采用德國半導(dǎo)體等級石墨材料，準確制作離子注入用石墨耗材，提供標準件及客制化規(guī)格。

高純度石墨根據(jù)均勻細顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，很強的抗腐蝕性，純度高沒有金屬離子不會對半導(dǎo)體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會造成高的損耗，故這時應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器、電較室、噴嘴、內(nèi)襯、濺射用電較、movcd感受器等。